TNO en ASML willen Europese productie van fotonische chips opschalen
TNO en ASML gaan een samenwerking aan om de Europese productie van fotonische chips op te schalen. Hiermee willen ze het Europese ecosysteem voor halfgeleiders versterken.
De focus ligt op de ontwikkeling en industrialisatie van deze chips, met gebruikmaking van de nieuwe Photonic Chip Pilot Line van TNO. Deze pilotline wordt momenteel gebouwd op de High Tech Campus in Eindhoven, een belangrijke locatie voor geïntegreerde fotonica in Europa.
Schaalbare productie
De samenwerking richt zich op het mogelijk maken van schaalbare productie van fotonische chips. Dit gebeurt door technische expertise te combineren op het gebied van lithografie, procescontrole en metrologie. ASML levert lithografieapparatuur, waaronder DUV- en I-Line-scanners, voor de fabriek.
De gedeelde onderzoeks- en ontwikkelomgeving biedt ruimte voor technische workshops en gezamenlijke innovatieactiviteiten. Hierdoor kan ASML de infrastructuur van TNO gebruiken voor interne ontwikkeling en klantdemonstraties.
Zodra de fabriek operationeel is, kan deze de volledige productie van geavanceerde indiumfosfide (InP) fotonische chips op 6-inch wafers mogelijk maken. Naast de fysieke productie is het onderzoeks- en ontwikkelecosysteem al voorbereid om van deze vooruitgang te profiteren. TNO, de Technische Universiteit Eindhoven en de Universiteit Twente werken binnen het Photonic Integration Technology Centre (PITC) samen om innovatieve ontwerpen om te zetten in praktijktoepassingen. Deze samenwerking met ASML is bedoeld om de operationele resultaten te verbeteren en ervoor te zorgen dat Europa een leidende positie behoudt in het snel veranderende landschap van geïntegreerde fotonica.
Meer over Hardware
Over Wouter Hoeffnagel
